原理：三坐標測量儀可定義為：一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統(tǒng)(如光學尺)經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(x,y,z)及各項功能量測的儀器。其工作原理是利用光柵繞射所制成的量測系統(tǒng)俗稱光學尺，其光源經(jīng)過瞄準透鏡而投射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經(jīng)放大及修正后即可顯示出來，其系統(tǒng)及輸出信號情形。
